1. 109 年半導體設備產值可望達 650 億元，續創新高：隨 5G、物聯網及高效能運算等新興科技應用快速拓展，半導體市場持續暢旺，為因應此波需求，半導體大廠積極擴充產能，加上政府積極推動國內半導體設備及零組件產業升級，以及企業建構在地採購供應鏈吸引國際大廠在台投資建廠，帶動我國半導體設備產值自 101 年起連續 8 年正成長，期間於 106 年和 108 年分別突破 500 億元和600 億元規模；109 年 1 至 11 月產值已來到 594 億元，年增 9.5%，預期 109 年全年產值可達 650 億元以上，續創佳績。
2. 生產設備及零件係主要成長貢獻來源：國產半導體設備包含生產、檢測兩大類， 其中以生產設備及零件占大宗，主要供應國內市場為主，內銷比重約占 7 成， 近年生產設備廠商積極投入研發製造，持續接獲國內大廠訂單，產值自 101 年起連續 8 年二位數成長，占整體產值比重亦逐年攀升，108 年已達 75%，為我國半導體設備產值連年成長之主要貢獻來源，109 年 1-11 月產值續增 15.0%； 另檢測設備及零件內外銷市場比重約占各半，隨國內半導體廠擴建產能需求熱絡，109 年 1-11 月內銷產值成長 11.0%，內銷比重突破 6 成。
3. 新加坡、美國及馬來西亞為 109 年半導體設備出口成長之主要貢獻：依據海關進出口統計，109 年我國半導體設備出口值(不含復出口)為 15 億美元，年增29.0%，其中以中國大陸為最大外銷市場(占 44.0%)，出口金額約 7 億美元，年增 3.7%，其次依序為新加坡(占 18.0%)、美國(占 14.4%)及馬來西亞(占 6.9%)， 分別年增 89.5%、53.9%及 67.3%，三者合計對出口成長貢獻達 21.1 個百分點， 為 109 年出口成長之主要貢獻來源。
4. 日本、美國、荷蘭為我國半導體設備主要進口來源：根據國際半導體產業協會(SEMI)統計，109 年全球半導體製造設備銷售金額將創下689 億美元的新紀錄， 其中我國為全球第二大的設備需求市場。依據海關統計，除 108 年因進口高單價之晶片微影設備，荷蘭躍升為最大進口國外，日本及美國向為我國主要半導體設備進口來源，109 年我國半導體設備進口值(不含復進口)為 230 億美元，年減 1.1%，其中自日本進口 55 億美元占 23.7%居首，自美國進口占 22.2%居次， 自荷蘭進口占 21.7%居第三。
5. 政府推動「半導體先進製程中心」提升自給比率：我國擁有全球最完整的半導體產業聚落及專業分工，惟主要生產設備及材料多須仰賴國外，為提高半導體供應鏈自給率，政府積極推動台灣成為「半導體先進製程中心」，期吸引更多國際設備及材料大廠來台投資，同時厚植國內業者研發及技術量能，落實供應鏈的自主化與國產化，藉以提高我國產業之國際競爭力。

資料來源：台灣務聯網產業技術協會