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研發成果
模具精密對準自動化設計-光罩對準、模板貼合
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領域:
其他工程及工程業
研發教師:
溫志群
技術說明:
透過影像伺服精密對位,達到晶圓曝光(Mask Aligner)、面板貼合(Penal Lamination)及微組裝(Micro-assembly)目標
創新特色:
提供電子與相關面板產業自動化設備之高精度對位需求
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