低損耗高低波導結構及製作方法
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- 領域：電機與電子工程
- 研發教師：邱建良
- 技術說明： 本發明為共面波導結合石墨烯之結構，結構包含一條訊號線與兩條接地線。共面波導之結構為使用矽基板，並在矽基板上先將銅訊號線與接地線製作完畢。因石墨烯具有高電子遷移率、熱導率、導電率、電流密度等優勢。在銅導線製作完畢後，將石墨烯以CVD方式製作出，並將銅導線包覆可提供低頻、與高頻傳輸之需求，低頻時訊號會於銅導線傳輸，高頻時因集膚效應訊號會於石墨烯傳輸，因此可提供良好的傳輸能力。此結構也可降低銅之氧化情形。
應用範圍：
(1)光收發模組 (2)光電元件 (3)驅動IC 元件 (4)射頻天線模組 - 創新特色： 微帶線有著製作成品低、交直流接皆能傳輸並且與微波積體電路製程可完全相容的優勢，常被用來作為微波電路中最基本的一種傳輸線結構，並且整合共平面波導線，加上使用CVD製程將銅導線包覆一層石墨烯作為高頻的傳輸導線。以石墨烯層作為高頻導線之部分結構，藉此提高導線整體的可靠度與降低其阻值。而石墨烯包覆在銅外圍時，可提供導線有較長的放置時間，減少共面波導之氧化問題，並且提高增加良好傳輸能力；有助於射頻微波積體通訊、光電通訊及電路印刷電路產業在傳輸能力上有良好的發展。
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